1200度可倾斜旋转CVD系统简短视频

1200度可倾斜旋转CVD系统图片

1200度可倾斜旋转CVD系统描述

该款CVD系统,加热元件可为电阻丝（1200℃以下使用）

CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成；

1）加热系统可以单温区，温区长度440mm

2）真空系统可为低真空，极限真空可以达到10Pa（也可选择分子泵机组）

3）供气系统为质量流量计混气，气路由3路相混合（主要根据客户工艺要求定制）；

1200度可倾斜旋转CVD系统功能和特点

1、加热系统炉膛采用高纯氧化铝多晶纤维制成，保温效果好，耐用节能，反射率高、温场均衡，等特点；

2、加热元件采用含钼电阻丝，最高发热温度可达1200℃；

3、数字质量流量控制系统是由3路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续

均匀性。

4、炉管采用高纯大肚石英管高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受急冷急热的温度。

5、加热采用上开启式，超温和断偶保护警报并断电，漏电保护，操作安全可靠。

6、炉管360度旋转可正转也可以倒转转动速度可调节，可倾斜角度可调最大角度35度。

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