7×24小时热线:0371-60256006
在线客服工作温度:1100度
加 热 区:1000mm
炉管外径:100mm
真 空 度:1Pa
测量真空:电容真空计
流 量 计:质量流量计四路混气系统
流量控制、真空显示:集成于七寸触摸屏
用途:应用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验用的理想产品。
该款CVD系统, 加热元件采用含钼电阻丝(1200℃以下使用)
CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成;
1)温区总长1000mm,恒温区600mm;
2)真空系统为低真空,最高极限真空可以达到1Pa,也可选择高真空机组(扩散泵或分子泵机组);
3)供气系统是流量调节为质量流量计,混气路数4路相混合(主要根据客户工艺要求选择)。
1、加热系统炉膛采用高纯氧化铝多晶纤维制成,保温效果好,耐用节能,反射率高、温场更均匀等特点;
2、加热元件采用含钼电阻丝,最高发热温度可达1200℃;
3、质量流量控制系统是由4路质量流量计,流量和真空度显示采用七寸触摸屏等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路
均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。
4、炉管采用高纯石英管高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受急冷急热的温度。
5、加热采用上盖开启式,超温和断偶保护警报并断电,漏电保护,操作安全可靠。
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